Серия силицидов. Пожалуйста, проверьте страницу с подробностями.

Физические и химические свойства

Силицид — это бинарное соединение, образованное некоторыми металлами (например, литием, кальцием, магнием, железом и т. д.) и некоторыми неметаллами (например, бором и т. д.) и кремнием. Обычно он кристаллический, имеет металлический блеск, твердый и имеет высокую температуру плавления. Металл или неметалл могут генерировать несколько силицидов. Например, из железа можно получить FeSi, FeSi2, Fe2Si5, Fe3Si2, Fe5Si3 и т. д. Его можно получить восстановлением оксидов металлов (или неметаллов) или силикатов металлов кремнием в электрической печи.

Сферы применения

Силицид для электрических нагревательных элементов: Силицид металла — одно из первых применений в качестве электрических нагревательных элементов. Как правило, чем меньше содержание кремния в силицидах металлов, тем выше температура плавления, но снижается его стойкость к окислению. Поэтому для изготовления нагревательных элементов обычно используют дисилициды с низкой температурой плавления, но хорошей стойкостью к окислению.

Силициды для высокотемпературных антиоксидантных покрытий: Замечательная антиоксидантная способность покрытий MoSi2 на молибдене и его свойства самовосстановления привели к обширным исследованиям большого количества других бинарных силицидов типа MeSi2 и более сложных силицидов для всех огнеупорных применений. Антиоксидантные покрытия для металлов, их сплавов и графитовых материалов, в том числе углерод/углеродных композитов.

Известно, что толщина покрытия имеет параболическую зависимость от времени использования, а влияние температуры использования на толщину покрытия более чувствительно, чем время. Дальнейшие исследования показали, что срок службы силицидного покрытия в основном определяется способностью к взаимной диффузии элементов системы покрытия и дефектами покрытия. В связи с этим первый метод заключается в модификации силицида покрытия путем легирования для получения многокомпонентной композитной оксидной защитной пленки с лучшими антиокислительными свойствами; второй метод заключается в использовании градиентного состава для улучшения термического цикла покрытия. Волосообразные трещины.

Силицид для пленок затворных электродов интегральных схем. По мере повышения уровня интеграции интегральных схем требования к термостойкости затворных электродов и материалов соединительных линий также возрастают. Традиционные поликремниевые и алюминиевые материалы больше не могут соответствовать этим требованиям; тугоплавкие металлы W и Mo хотя и обладают хорошей проводимостью и высокими температурами плавления, но не устойчивы к окислению, что ограничивает температуру изготовления интегральных схем. Поэтому силициды тугоплавких металлов привлекли внимание из-за их низкого удельного сопротивления и высокой стабильности. Четыре наиболее привлекательных в этом отношении силицида — TiSi2, TaSi2, MoSi2 и WSi2. Среди них TaSi2 является наиболее стабильным и его удельное сопротивление ниже, чем WSi2 и MoSi2. В то же время использование TaSi2 в качестве металлизации затворов интегральных схем и соединительных линий имеет свои уникальные преимущества: TaSi2 не будет окисляться в сухом кислороде. С появлением технологии сверхмелкозернистых частиц требования к высокотемпературной стабильности могут быть снижены, тогда станут полезными другие силициды.